ASML Holding NV, der führende Anbieter von Chipherstellungsanlagen, sieht sich nun strengeren Beschränkungen bei der Zusammenarbeit mit chinesischen Kunden gegenüber, was den anhaltenden Technologiekonflikt zwischen Washington und Peking weiter verschärft. Gemäß den im Juni von der niederländischen Regierung veröffentlichten neuen Vorschriften ist es ASML untersagt, ohne vorherige Genehmigung die Wartung, Reparatur und Bereitstellung von Ersatzteilen für gesteuerte Geräte durchzuführen. Dies gilt zusätzlich zu den Beschränkungen, die im September in Kraft treten und es ASML verbieten, bestimmte fortschrittliche Immersions-Tief-Ultraviolett-Lithographiegeräte ohne Lizenz nach China zu liefern.
Es wird auch erwartet, dass die Vereinigten Staaten ASML Beschränkungen auferlegen und das Unternehmen daran hindern, ältere DUV-Lithographiegeräte an mehrere chinesische Werke zu verkaufen, darunter eines, das von Semiconductor Manufacturing International Corp. betrieben wird. (SMIC), ein führendes Chipunternehmen in China. Aufgrund der US-Beschränkungen ist für solche Verkäufe eine Genehmigung aus Washington erforderlich.
Diese doppelten Beschränkungen stellen eine erhebliche Herausforderung für chinesische Halbleiterunternehmen dar und könnten ihre Fähigkeiten im Laufe der Zeit möglicherweise beeinträchtigen. Die chinesische Regierung hat heftig auf diese Technologiebeschränkungen reagiert, eine Beschwerde bei der Welthandelsorganisation eingereicht und den USA vorgeworfen, sie würden versuchen, China unterwürfig zu halten.
Durch die Umsetzung dieser Vorschriften senden die Niederlande ein klares Signal, dass sie nicht wollen, dass China die fortschrittlichsten Halbleiter produzieren kann. Die Auswirkungen auf chinesische Chiphersteller könnten erheblich sein, da sie auf dem Weltmarkt für fortschrittliche Logik- und Speicherchips benachteiligt wären. Der Zugang zu diesen fortschrittlichen ASML-Maschinen ist für die Entwicklung modernster Prozesstechnologien von entscheidender Bedeutung, und ohne sie könnten chinesische Chiphersteller gezwungen sein, bestimmte Projekte zu verschieben oder abzubrechen.
Es ist erwähnenswert, dass ASML aufgrund von Bedenken hinsichtlich möglicher militärischer Anwendungen nie in der Lage war, seine fortschrittlichsten Chipherstellungsmaschinen nach China zu verkaufen. Diese Maschinen nutzen die Lithographie im extremen Ultraviolett (EUV), eine Technologie, zu der die USA und ihre Verbündeten kontrollierten Zugang haben.
Die Biden-Regierung plant, ASML die neuen Beschränkungen aufzuerlegen, indem sie die Foreign Direct Product Rule nutzt, die Beschränkungen für den Verkauf ausländischer Ausrüstungslieferanten zulässt, wenn deren Produkte auch nur eine geringe Menge amerikanischer Komponenten enthalten. Dieser Ansatz folgt der früheren Anwendung der Regel durch die Trump-Regierung, die darauf abzielte, Huaweis Zugang zu in den USA ansässigen Technologieunternehmen einzuschränken.
Zusätzlich zu den Verkaufsbeschränkungen können die USA ASML auch verbieten, Wartungs-, Reparaturdienstleistungen und Ersatzteile für die eingeschränkten Maschinen bereitzustellen, die in den betroffenen chinesischen Werken installiert sind, ohne eine Lizenz einzuholen.
Während sich die Niederlande zunächst den Bemühungen der USA widersetzten, extraterritoriale Kontrollen gegen ASML durchzusetzen, haben sich die Regierungen der USA und der Niederlande über die nationalen Sicherheitsbedenken und die Notwendigkeit dieser zusätzlichen Beschränkungen geeinigt. Trotz des kürzlichen Zusammenbruchs der niederländischen Koalitionsregierung werden diese Vorschriften voraussichtlich nicht beeinträchtigt.
Insgesamt zielen diese neuen Kontrollen sowohl durch die USA als auch durch die Niederlande darauf ab, China davon abzuhalten, seine Halbleitertechnologie zu verbessern, und könnten auch langfristige Auswirkungen auf die bestehenden Produktionskapazitäten chinesischer Chiphersteller haben. Der Mangel an inländischen Alternativen zur Reparatur oder zum Austausch defekter ausländischer Geräte könnte ihre Fähigkeit beeinträchtigen, mit dem technologischen Fortschritt Schritt zu halten. ASML spielt mit seinem nahezu Monopol bei kritischer Lithographieausrüstung eine entscheidende Rolle bei der Produktion moderner und älterer Chips weltweit.
Vertreter der niederländischen Regierung, des US-Handelsministeriums und der ASML lehnten es ab, sich zu diesen Entwicklungen zu äußern. Unterdessen kündigte ASML Pläne an, die Einstellungszahlen in diesem Jahr aufgrund der Abschwächung in der Branche und einer für 2022 geplanten erheblichen Rekrutierungsoffensive zu reduzieren.